หนึ่งในวิธีการที่มีประสิทธิภาพและใช้กันอย่างแพร่หลายที่สุดเพื่อให้ได้สภาวะสุญญากาศสูงคือการใช้ระบบปั๊มสุญญากาศแบบกระจาย ในฐานะซัพพลายเออร์ระบบปั๊มสุญญากาศผู้ช่ำชอง ฉันตื่นเต้นที่จะแบ่งปันข้อมูลเชิงลึกเกี่ยวกับวิธีการทำงานของระบบดังกล่าว
พื้นฐานของการปั๊มสุญญากาศและการแพร่กระจายสูง
โดยทั่วไป สุญญากาศสูงถูกกำหนดให้เป็นช่วงแรงดันระหว่าง (10^{-3}) ถึง (10^{-7}) ทอร์ การบรรลุแรงกดดันต่ำดังกล่าวถือเป็นสิ่งสำคัญในอุตสาหกรรมต่างๆ เช่น การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การเคลือบผิว และการวิจัยเครื่องเร่งอนุภาค ระบบปั๊มสุญญากาศแบบกระจายมีบทบาทสำคัญในการเข้าถึงระดับสุญญากาศที่รุนแรงเหล่านี้
หลักการเบื้องหลังปั๊มกระจายนั้นขึ้นอยู่กับปรากฏการณ์การแพร่กระจายของก๊าซ การแพร่กระจายเกิดขึ้นเมื่อโมเลกุลของก๊าซเคลื่อนที่จากบริเวณที่มีความเข้มข้นสูงไปยังบริเวณที่มีความเข้มข้นต่ำกว่า ในปั๊มแพร่ จะใช้ไอพ่นความเร็วสูงเพื่อสร้างบริเวณที่มีความเข้มข้นของก๊าซต่ำ ซึ่งจะทำให้ก๊าซจากห้องสุญญากาศกระจายเข้าสู่บริเวณนี้
ส่วนประกอบของระบบปั๊มสุญญากาศแบบกระจาย
- ปั๊มกระจาย: :
แกนหลักของระบบคือตัวปั๊มกระจาย ประกอบด้วยหม้อต้มน้ำ ชุดประกอบไอพ่น และคอนเดนเซอร์ หม้อต้มจะทำความร้อนน้ำมันพิเศษ (โดยปกติจะเป็นน้ำมันที่มีส่วนประกอบหลักเป็นซิลิโคน) ที่อุณหภูมิสูง โดยทั่วไปจะอยู่ที่ประมาณ (200 - 300^{\circ}C) เมื่อน้ำมันระเหย มันก็จะลอยขึ้นมาผ่านชุดไอพ่น เครื่องบินไอพ่นได้รับการออกแบบในลักษณะที่ควบคุมไอความเร็วสูงลงด้านล่างเป็นรูปกรวย
เมื่อโมเลกุลของก๊าซจากห้องสุญญากาศสัมผัสกับไอพ่นความเร็วสูง พวกมันจะถูกไอระเหยกักไว้และถูกพาไปที่ผนังของปั๊ม เมื่ออยู่ใกล้ผนัง ไอระเหยจะถูกควบแน่นกลับเป็นของเหลวโดยคอนเดนเซอร์ ซึ่งจะถูกทำให้เย็นลงด้วยน้ำหรือสารหล่อเย็นอื่น จากนั้นน้ำมันที่ควบแน่นจะไหลกลับไปยังหม้อไอน้ำเพื่ออุ่นและรีไซเคิล ในขณะที่โมเลกุลของก๊าซที่ติดอยู่จะถูกกำจัดออกจากด้านล่างของปั๊ม - ปั๊มสำรอง: :
ปั๊มแพร่เพียงอย่างเดียวไม่สามารถเริ่มปั๊มจากความดันบรรยากาศได้ ต้องใช้ปั๊มสำรองเพื่ออพยพระบบล่วงหน้าให้มีแรงดันต่ำเพียงพอ (โดยปกติจะอยู่ที่ประมาณ (10^{-2}) ทอร์) โดยทั่วไปปั๊มสำรองจะเป็นปั๊มเชิงกล เช่น ปั๊มใบพัดหมุนหรือปั๊มราก ปั๊มสำรองจะกำจัดก๊าซจำนวนมากออกจากห้องสุญญากาศ ทำให้เกิดสภาวะเริ่มต้นที่เหมาะสมสำหรับปั๊มแพร่ที่จะเข้าควบคุมและบรรลุระดับสุญญากาศที่สูงขึ้น - ห้องสุญญากาศ: :
นี่คือพื้นที่ที่ต้องการสภาพแวดล้อมที่มีสุญญากาศสูง สามารถทำจากวัสดุได้หลากหลาย เช่น สแตนเลสหรือแก้ว ขึ้นอยู่กับการใช้งาน ห้องสุญญากาศเชื่อมต่อกับปั๊มแพร่และปั๊มสำรองผ่านท่อและวาล์ว
กระบวนการสูบน้ำ
- การอพยพเบื้องต้น: :
กระบวนการเริ่มต้นด้วยปั๊มสำรอง เมื่อระบบเปิดทำงาน ปั๊มสำรองจะเริ่มไล่ก๊าซออกจากห้องสุญญากาศ ทำงานที่อัตราการไหลค่อนข้างสูงและสามารถลดแรงดันจากความดันบรรยากาศลงไปจนถึงแรงดันใช้งานของปั๊มกระจายได้อย่างรวดเร็ว ระยะเริ่มต้นนี้มีความสำคัญอย่างยิ่ง เนื่องจากเป็นการเตรียมระบบสำหรับการปั๊มปั๊มกระจายที่แม่นยำและมีประสิทธิภาพมากขึ้น - การเปิดใช้งานปั๊มกระจาย: :
เมื่อปั๊มสำรองบรรลุถึงแรงดันก่อนสุญญากาศตามที่ต้องการ ปั๊มกระจายจะทำงาน หม้อต้มน้ำในปั๊มกระจายเริ่มให้ความร้อนแก่น้ำมัน และเกิดไอพ่นขึ้น เมื่อโมเลกุลของก๊าซในห้องสุญญากาศกระจายเข้าไปในไอพ่น พวกมันจะถูกพัดลงและกำจัดออกจากระบบ
ปั๊มแพร่ทำงานตามการถ่ายโอนโมเมนตัมระหว่างโมเลกุลไอและโมเลกุลของก๊าซ โมเลกุลของไอความเร็วสูงชนกับโมเลกุลของแก๊ส ทำให้พวกมันมีโมเมนตัมลดลง วิธีนี้จะสูบก๊าซออกจากห้องสุญญากาศอย่างมีประสิทธิภาพและรักษาสภาพแวดล้อมที่มีสุญญากาศสูง - การบำรุงรักษาสุญญากาศ: :
เพื่อรักษาสภาวะสุญญากาศสูง ทั้งปั๊มกระจายและปั๊มสำรองจำเป็นต้องทำงานอย่างต่อเนื่อง ปั๊มสำรองยังคงกำจัดก๊าซที่ถูกสูบออกโดยปั๊มกระจาย เพื่อป้องกันไม่ให้กลับเข้าไปในห้องสุญญากาศ คอนเดนเซอร์ในปั๊มกระจายยังจำเป็นต้องรักษาฟังก์ชันการทำความเย็นเพื่อให้แน่ใจว่าไอน้ำมันจะควบแน่นอย่างเหมาะสม
ข้อดีของระบบปั๊มสุญญากาศแบบกระจาย
- ความเร็วในการสูบน้ำสูง: :
ปั๊มแบบกระจายสามารถบรรลุความเร็วการปั๊มที่สูงมาก โดยเฉพาะอย่างยิ่งในช่วงสุญญากาศที่สูง ทำให้เหมาะสำหรับการใช้งานที่ต้องกำจัดก๊าซปริมาณมากอย่างรวดเร็ว เช่น ในการผลิตเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ขนาดใหญ่ - ความสามารถด้านแรงดันต่ำ: :
พวกมันสามารถรับแรงกดดันที่ต่ำมากได้ถึงช่วงทอร์ (10^{-7}) นี่เป็นสิ่งจำเป็นสำหรับการใช้งานที่ต้องการสภาพแวดล้อมสุญญากาศที่มีความบริสุทธิ์สูง เช่น ในกระบวนการสะสมฟิล์มบาง - ความน่าเชื่อถือ: :
ปั๊มกระจายมีการออกแบบที่ค่อนข้างเรียบง่ายโดยมีชิ้นส่วนที่เคลื่อนไหวน้อย (ไม่รวมปั๊มสำรอง) ทำให้เชื่อถือได้และต้องการการบำรุงรักษาน้อยกว่าเมื่อเทียบกับปั๊มสุญญากาศประเภทอื่นๆ
การนำเสนอผลิตภัณฑ์ของเรา
ในฐานะซัพพลายเออร์ระบบปั๊มสุญญากาศ เรามีผลิตภัณฑ์คุณภาพสูงมากมายที่รวมเอาเทคโนโลยีปั๊มแบบกระจายเข้าไว้ด้วยกัน ตัวอย่างเช่นของเราFTVS - 300 1000 M3/ชม. ระบบอพยพสุญญากาศหม้อแปลงไฟฟ้าได้รับการออกแบบมาเพื่อการอพยพสุญญากาศที่มีประสิทธิภาพสำหรับหม้อแปลง สามารถบรรลุระดับสุญญากาศที่ต้องการได้อย่างรวดเร็ว ทำให้มั่นใจในคุณภาพและประสิทธิภาพของหม้อแปลง
สินค้าอีกชิ้นหนึ่งคือFTVS - 600 2000 M3/ชม. เครื่องปั๊มสุญญากาศหม้อแปลงไฟฟ้าแบบปิดครบวงจรนำเสนอโซลูชันแบบปิดและมีประสิทธิภาพมากขึ้นสำหรับการดูดฝุ่นหม้อแปลง มาพร้อมกับเทคโนโลยีปั๊มกระจายขั้นสูงเพื่อให้ได้สภาวะสุญญากาศสูงที่มีประสิทธิภาพสูง
เรายังมีชุดปั๊มสุญญากาศแบบขั้นตอนเดียว VPSซึ่งเป็นตัวเลือกอเนกประสงค์สำหรับงานสุญญากาศต่างๆ สามารถใช้ร่วมกับปั๊มกระจายเพื่อให้ได้โซลูชันปั๊มสุญญากาศที่ครอบคลุม
ติดต่อเราเพื่อสอบถามความต้องการปั๊มสุญญากาศของคุณ
หากคุณอยู่ในตลาดสำหรับระบบปั๊มสุญญากาศคุณภาพสูง เรายินดีรับฟังจากคุณ ทีมผู้เชี่ยวชาญของเราสามารถให้ข้อมูลโดยละเอียดเกี่ยวกับผลิตภัณฑ์ของเรา ช่วยคุณเลือกระบบที่เหมาะสมสำหรับการใช้งานเฉพาะของคุณ และให้การสนับสนุนด้านเทคนิคตลอดกระบวนการจัดซื้อ ติดต่อเราเพื่อเริ่มการสนทนาเกี่ยวกับข้อกำหนดเกี่ยวกับปั๊มสุญญากาศ และสำรวจว่าผลิตภัณฑ์ของเราสามารถตอบสนองความต้องการของคุณได้อย่างไร
อ้างอิง
- ลาฟเฟอร์ตี, เจเอ็ม (1998) รากฐานของวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีสุญญากาศ ไวลีย์ - อินเตอร์วิทยาศาสตร์
- โอแฮนลอน เจเอฟ (2003) คู่มือผู้ใช้เกี่ยวกับเทคโนโลยีสุญญากาศ ไวลีย์ - อินเตอร์วิทยาศาสตร์
